项目名称：动态合金激光退火装备及工艺
完成单位：成都莱普科技股份有限公司
技术水平：国际先进水平
综合得分：91.82分
评审专家：王军喜(中国科学院半导体研究所)、刘洋（电子科技大学）、朱宏娜（西南交通大学）、刘亚俊（华南理工大学）、曹太强（西华大学）、张弘（四川大学）、杨建波（西南石油大学）
在此成果中，成果完成单位聚焦芯片先进制程制造中动态合金激光退火的技术难题，突破了光学整形、闭环功率控制及高精度测温、自动监测、整机集成等关键技术，研制出动态合金激光退火设备及配套工艺，实现硅化物从高阻态到低阻态的高效、均匀转化，有效修复离子注入晶格损伤，激活杂质离子，优化半导体材料晶体结构与器件电学性能，填补国内技术与设备的产业化缺口。
主要创新点如下：
1、该成果解决了同类设备在工艺控制精度、均匀性和稳定性方面得技术短板，实现了设备与工艺的深度融合，成功研制出具备自主知识产权的动态合金激光退火设备，工艺稳定性与可靠性能够满足量产应用要求，设备与国外同类产品指标性能相当，甚至部分指标优于国外产品；
2、该成果突破了高温密闭室蝶阀闭环压力调控、高均匀性加热盘设计、低氧浓度精准控制、激光功率闭环精准控制、光学整形优化等多项核心关键技术，解决了同类设备在工艺控制精度、均匀性和稳定性方面技术短板；
3、该成果在激光器功率、透过率、Particle控制、污染控制、退火均匀性、氧浓度控制、加热盘精度等核心指标上均实现大幅超越，控制适配性从45nm提升至28nm及以下，配套工艺完善，设备与产线适配性更高；
4、该成果设备已通过龙头企业长江存储科技有限公司验收，用户从机台外观配置、软硬件参数等方面进行了验证并出具了验收报告，表明该设备以投入生产使用，能够满足国产28nm及以下先进制程的量产需求，且设备与维护成本低、可定制化服务，具有良好的经济与社会效益。
综上所述，评审委员会认为该项目在激光退火设备领域的同类技术中达到国际先进水平。
评价服务体系：
本次评价采用由成都博智睿通科技有限公司、四川省科技成果评价服务联盟、四川省科技厅等团队研究的评价体系，该体系含理论方法、分类评价指标、大数据分析架构、服务规范等内容。
